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壓力計 (壓力傳感器、Pressure Sensor)
壓力傳感器又稱壓力計,用於測量液體與氣體的的傳感器。壓力傳感器工作時將壓力轉換為電信號輸出,適用機械、鋼鐵、石化、電子廠房等環境。
壓力傳感器在監測與控制應用中得到大量的使用。除了直接的壓力測量,壓力傳感器同時也可用於間接測量其他量,如液體/氣體的流量,速度,水面高度或者海拔高度。
MEMS電容式壓力計 :
電容式壓力感測器主要是利用平行電容板的原理,當感測器上隔膜受壓力而變形時,其隔膜與底板電極間的間隙改變而造成電容的變化,藉由電容的變化便能夠感測壓力的大小。也被應用在汽車、工業、醫療與消費性電子等產品上。
MEMS電容式壓力計可實現精準、低功耗的高度和壓力變化測量,因此受到行動裝置、汽車和醫療電子開發商青睞在,應用於行動樓層導航、汽車胎壓監控系統。
MEMS電容式壓力計除有低功耗的優點外,在解析度與抗溫度變化的表現上均較壓阻式壓力計的表現佳,但是在結構設計與製程上有較高的門檻要求。
壓阻式壓力計:
用於測量
直升飛機
機翼的氣流壓力分佈,測試發動機進氣口的動態畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等,或生物醫學上的應用。當待測環境壓力發生變化後,壓力感測器上的薄膜變形量也會隨之改變,並使薄膜上的壓阻材料產生形變,電阻值也會因而改變,此一阻值的變化經由惠司頓電橋以及放大電路的讀取與訊號處理後,便可藉由電阻的變化來量測壓力的大小
壓阻式感測器具有高輸出電壓、高靈敏度以及製造成本低等優點,但缺點為易受外界應力影響,對溫度變化 十分敏感。
壓電式壓力計:
壓電感測器主要應用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式加速度感測器是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優異的特點。壓電式加速度感測器在飛機、汽車、船舶、橋樑和建築的振動和衝擊測量中已經得到了廣泛的應用,特別是航空和宇航領域中更有它的特殊地位。壓電式感測器也可以用來測量發動機內部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用於軍事工業,例如用它來測量槍炮子彈在膛中擊發的一瞬間的膛壓的變化和炮口的衝擊波壓力。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力。
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